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洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。乱流式(TurbulentFlow)优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产的湿度范围为35—45%。

赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念，凭借规范化管理及***的技术力量在食品、***、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净SC厂房、GMP厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨：***！诚信！***！

水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

云南赛达主要服务项目：

1、承建各种净化级别、工艺要求、平面布局的空调净化厂房、洁净无尘实验室；

2、设计、建造食品厂净化厂房，协助通过QS认证；

3、承建相对负压、高温、防火防爆、隔音消声、灭菌、排臭、抗静电等特殊要求的净化厂房；

4、承建净化房相配套的照明、电器设施、动力、电器控制系统及空调自动控制系统；

5、承建恒温恒湿净化厂房系统、空调机房、冷冻机房；

6、承接净化厂房配套的给排水、水处理及空气处理系统；

7、承接净化空调系统工程咨询、调试、协助检测。

赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念，凭借规范化管理及***的技术力量在食品、***、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净SC厂房、GMP厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨：***！诚信！！

送风口由静压箱、散流板、过滤器与法兰四件组成；与风管的接口处有侧接与顶接两种。箱体表面为冷扎钢板多层酸洗静电喷涂而成，出风口均有良好的气流，确保净化的效果；是用以改造和新建1000—300000级各级洁净室的终端空气过滤设备，满足净化要求的关键设备。 送风口可选功能： 1、送风口可根据客户不同要求选择侧面送风和顶部送风。地面采用环氧树脂自流坪、防静电PVC地板或****耐磨塑料洁净地板。法兰也可选择方形或圆形口，方便接风管的需要。